SUSS MicroOptics nutzt 3D-Oberflächenmesstechnik

By on 24. September 2013 in Allgemein

Vollautomatisches Wafermapping von Mikrolinsenarrays

Pressemeldung der Firma NanoFocus AG

Die Firma SUSS MicroOptics entwickelt und produziert hochwertige Mikrooptiken auf Waferbasis. Um Entwicklungs- und Produktionsprozesse zu optimieren, hat sich SUSS MicroOptics aufgrund der hohen Präzision und Automatisierungsmöglichkeiten für die optische 3D-Oberflächenmesstechnik der NanoFocus AG entschieden.

SUSS MicroOptics stellt Mikrooptiken mit waferbasierten Herstellungsverfahren her. Hierbei werden auf einem Wafersubstrat aus synthetischem Quarzglas oder Silizium tausende oder Millionen Mikrolinsen gefertigt. Mit der konfokalen 3D-Messtechnik von NanoFocus prüft SUSS MicroOptics Mikrolinsenarrays schnell, präzise und zerstörungsfrei zu verschiedenen Zeitpunkten des Herstellungs- und Bearbeitungsprozesses.

„Der Nutzen der NanoFocus-Messtechnik liegt für uns vor allem in der Möglichkeit eines vollständigen Wafermappings und automatisierbarer Messabläufe“, sagt Dr. Reinhard Völkel, CEO von SUSS MicroOptics. „Dies ist mit anderen Messtechnologien nicht vergleichbar möglich.“ Durch die vollflächige Messung ganzer Mikrolinsenarrays wird ein dichtes Messgitter erreicht, das die Identifikation und Detektion defekter Mikrolinsen auf dem gesamten Wafer ermöglicht. Wafermap-Importe und die Nutzung von Datenbanken werden durch die NanoFocus-Software unterstützt.

Die Formpräzision der Linsenprofile, definiert durch den Krümmungsradius und die konische Konstante, eine hochgenaue Positionierung der Linsen auf jedem Array ebenso wie die Maßhaltigkeit der Wafer sind entscheidende Aspekte in der Herstellung. Diese sind maßgebend für Leistungsfähigkeit und die optischen Eigenschaften der Mikrolinsenarrays. Auf Grundlage der Messdaten definiert und optimiert SUSS MicroOptics die Produktionsparameter und stellt damit die höchste Qualität der produzierten Mikrolinsenarrays sicher.

Firmenkontakt und Herausgeber der Meldung:
NanoFocus AG
Lindnerstr. 98
46149 Oberhausen
Telefon: +49 (208) 62000-0
Telefax: +49 (208) 62000-99
http://www.nanofocus.de

Ansprechpartner:
Claudia Delto
Produkt- und Unternehmenskommunikation
+49 (208) 6200091

Weiterführende Links

Für die oben stehende Pressemitteilung ist allein der jeweils angegebene Herausgeber (siehe Firmenkontakt oben) verantwortlich. Dieser ist in der Regel auch Urheber des Pressetextes, sowie der angehängten Bild-, Ton-, Video-, Medien- und Informationsmaterialien. Die Huber Verlag für Neue Medien GmbH übernimmt keine Haftung für die Korrektheit oder Vollständigkeit der dargestellten Meldung. Auch bei Übertragungsfehlern oder anderen Störungen haftet sie nur im Fall von Vorsatz oder grober Fahrlässigkeit. Die Nutzung von hier archivierten Informationen zur Eigeninformation und redaktionellen Weiterverarbeitung ist in der Regel kostenfrei. Bitte klären Sie vor einer Weiterverwendung urheberrechtliche Fragen mit dem angegebenen Herausgeber. Eine systematische Speicherung dieser Daten sowie die Verwendung auch von Teilen dieses Datenbankwerks sind nur mit schriftlicher Genehmigung durch die Huber Verlag für Neue Medien GmbH gestattet.