Weißlicht-Interferometer prüft feinste Strukturen
Fortschritte in der Mikrosystemtechnik und der Mikroelektronik steigern die Nachfrage nach Messungen von Strukturdetails, um zum Beispiel Kanaltiefen und Kantenprofile auf einem Lab-on-aChip zu charakterisieren, Stufenhöhen, Co-Planarität und andere Packaging-Parameter... weiterlesen →