Scannen mit 200 m/sec durch Laserablenksystem UHSS von RAYLASE

In der Mikrobearbeitung kommen immer häufiger Ultrakurzpulslaser zum Einsatz. Um die damit verbundenen hohen Laserfrequenzen voll ausschöpfen zu können, werden Scanner mit bisher nicht erreichbaren Ablenkgeschwindigkeiten benötigt.

Diese Lücke schließt RAYLASE mit dem hochinnovativen Ultra-High-Speed-Scanner UHSS. Er scannt mit 200 m/sec um ein Vielfaches schneller als herkömmliche Ablenkeinheiten mit Galvanometer-Scannern. Nur mit dem UHSS von RAYLASE können die gewohnten Arbeitsfelder ultraschnell und hochpräzise bearbeitet werden. So ist es zum Beispiel mit einer F-Theta Optik der Brennweite f = 254 mm möglich, ein Feld von 160 x 160 mm zu scannen.

Damit lassen sich neue Anwendungsgebiete mit Ultrakurzpulslasern erschließen. Perforieren, Schneiden und Ritzen sind in einer bisher ungeahnten Geschwindigkeit möglich. Hohe Zeitersparnis und damit auch eine enorme Kosteneinsparung in der Fertigung sind die entscheidenden Vorteile. So benötigt der UHSS für die Öffnung der Passivierungsschicht eines Solarwafers nur 0,3 bis 0,6 Sekunden anstatt bisher 2 bis 4 Sekunden. RAYLASE sieht weitere Anwendungsmöglichkeiten des UHSS mit UKP-Lasern bei Applikationen mit hohem Füllgrad.

Die hohen Ablenkgeschwindigkeiten des UHSS werden ermöglicht durch die Kombination eines hochpräzisen Polygons mit zwei Galvanometer-Scannern mit extrem niedriger Drift. Der Polygon-Scanner gewährleistet die enorme Geschwindigkeit in seiner Scanrichtung. Ein Galvanometer-Scanner dient zur Korrektur in Polygonscanrichtung, während der zweite Galvanometer-Scanner die zweite Scanrichtung realisiert und dabei gleichzeitig Feldverzerrungen korrigiert. Bezogen auf ein 160-er Feld kann der UHSS in den 4 Geschwindigkeiten 70, 100, 147 und 200 m/sec betrieben werden. Mit einer Eingangsapertur von 15 mm werden bei einer Wellenlänge von 532 nm Spotgrößen von circa 30 µm erzielt. Die Ansteuerung des Scankopfs und des Lasers erfolgt digital durch eine spezielle UHSS Kontrolleinheit.

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