Die Laserbaureihe IPEX-700 wurde speziell für Arbeitszyklen in F&E-Umgebungen entwickelt und bringt leistungsstarke UV-Laser mit exzellenter Performance hervor.
Die patentierte ICON™-Technologie (Integrated Ceramic on Nickel) von LightMachinery ernmöglicht dem IPEX Laser eine lange Gaslebensdauer, eine ausgezeichnete optische Stabilität und eine präzise Steuerung der Laser-Betriebsparameter.
Durch das Anbringen von automatisierten Ventilen von EasyClean am Faseranschluss ist es möglich, die Laserkammer zu schmieren und dabei das Füllgas / Passivierung, während die Resonatoroptiken zum Reinigen oder Warten ausgebaut werden, zurückzuhalten.
Einfache Bedienung und wirtschaftlicher Betrieb, die IPEX-700 Laser kombinieren die Vorteile der Hochpräzisions-Excimerstrahlung, nämlich die niedrigsten Betriebskosten und die höchste Verfügbarkeit, die der Markt zu bieten hat.
Der IPEX-700 ist ideal für Anwendungen wie gepulste Laserdeposition (PLD). Ein Excimer-Laser kann dazu verwendet werden, Targetmaterialien in einer Vakuumkammer zu zerstäuben, die dann auf einem Substrat abgeschieden werden.
Der Prozess hat mehrere Vorteile gegenüber konventionellen Prozessen. Dazu gehören:
Verwendung verschiedener Targetmaterialien: Metalle, Keramiken oder Oxide
Unabhängige Steuerung der Abscheidungstemperatur und des Umgebungsdruckes (Sauerstoff, Helium, Stickstoff…).
Die abgeschiedene dünne Schicht hat dieselbe Stöchiometrie wie das Targetmaterial
Herstellung von neuartigen Beschichtungen wie z.B. Diamantschichten
Vorteile der IPEX-700 Serie:
Verlängerte Gaslebensdauer, lange Auswechselintervalle, niedrige Betriebskosten
Vereinfachte Instandhaltung, hält Füllgas und Passivierung zurück
Liefert eine 200µrad-Strahllage-Stabilität
Keine Anpassungen nach dem Reinigen oder Austausch der Optiken notwendig
Schnelle, präzise Energiestabilisierung im internen, externen und Burst-Triggermodus
Exzellente Energiestabilität, besser als 1,0% (KrF)
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