Digital-Encoder Galvanometer-Scan-Köpfe mit höchster Effizienz: die neue „se“-Serie von SCANLAB

Die SCANLAB AG erweitert ihre Produktpalette um die neuen intelliSCANse® Scan Köpfe mit 10 mm und 14 mm Apertur. Diese Scan-Köpfe basieren auf den neuen dynAXISse® Galvanometer-Scanner mit Digitalencoder. Die neuen intelliSCANse® Scan-Köpfe setzen weltweit Maßstäbe für das hochgenaue Scannen mit hohem Durchsatz, wie es in der Fertigung von elektronischer Komponenten und anderen Präzisionsanwendungen notwendig ist. Sie bieten:

– herausragende Präzision in der Mikrostrukturierung, einschließlich Displayfertigung und Halbleiterbearbeitung,

– höchste Dynamik der dynAXISse® Galvanometer-Scanner, somit maximaler Durchsatz und maximale Produktivität,

– niedrigste Driftwerte, daher höchste Bearbeitungsgenauigkeit bei sich ändernden Umgebungs- oder Bearbeitungsbedingungen,

– volle Flexibilität der intelliSCANse® Scan-Kopf-Serie mit variablen Tunings und verschiedenen Kühl- und Mechanikoptionen,

– bewährte Zuverlässigkeit wie bei allen intelliSCAN® Scan-Köpfen.

In den neu entwickelten dynAXISse® Galvanometer-Scannern führt die interferometrische Positionsmessung zu herausragender Auflösung und niedrigsten Dither- und Driftwerten. Das von SCANLAB patentierte Design mit extrem geringer Trägheit macht den intelliSCANse® 10 zum schnellsten und präzisesten auf dem Markt erhältlichen Scan-Kopf mit 10 mm Apertur. Darüber hinaus bieten die neuen intelliSCANse® 10 und intelliSCANse® 14 Scan-Köpfe ein hervorragendes Preis-Leistungs-Verhältnis.

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    intelliSCANse Scan Head

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