Präzision und Wirtschaftlichkeit dieser kombinierten Forderung (und der Anspruch) können durch industrielle Femtosekundenlaser in einem hohen Maß gemeinsam erfüllt werden.
Der Femtosekundenlaser „Satsuma“ bietet mit 20 µJ bis 500 kHz und Pulsdauern von nur 400 Femtosekunden Pulsspitzenleistungen, für die typische Pikosekundenlaser eine mittlere Leistung von ca. 200 W liefern müssten.
Dieser Vergleich zeigt, dass auch preislich Femtosekundenlaser mittlerweile mindestens ebenso attraktiv sind wie Pikosekundenlaser. Aufgrund der höheren Bearbeitungsqualität mit Femtosekundenlasern wird der Aufwand der Nachbearbeitung reduziert, so dass weitere Kosten eingespart werden können.
Ein weiterer großer Vorteil der Femtosekundenlaser ist das im Vergleich zu Pikosekundenlasern noch größere Prozessfenster. Es ermöglicht die Bearbeitung von nahezu beliebigen Materialien und kleinsten Strukturen. Werden nichtlineare Prozesse in der Applikation genutzt, können Geometrien im nm-Bereich erzeugt werden.
Eine Frequenzverdoppelung auf 515 nm oder Verdreifachung auf 343 nm ist möglich.
Hohe Abtragsraten benötigen hohe Pulsenergien mit Repetitionsraten, die von hochdynamischen Scan-Systemen unterstützt werden. Der Femtosekundenlaser Tangor ermöglicht mit der mittleren Leistung von 30 W und bis zu 300 kHz entsprechend hohe Abtragsraten.
Um technische und ökonomische Notwendigkeiten miteinander zu kombinieren, kann je nach Anwendung zwischen einer großen Anzahl an Femtosekundenlasern und Spezifikationen gewählt werden.
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